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溅射靶材

北京石久高研金属材料有限公司成立于2005年， 石久高研致力于镀膜靶材和蒸发料的研发和生产工作，镍铬铝合金，为电子行业、玻璃工业、数据存储、装饰镀膜、工具镀膜等行业的镀膜企业提供*的靶材和蒸发料。公司主营金属靶材、金属材料、光学镀膜材料等。

背靶材料无氧铜(OFC)– 目前****常使用的作背靶的材料是无氧铜，镍铬铝合金出售，因为无氧铜具有良好的导电性和导热性，而且比较容易机械加工。 如果*适当，无氧铜背靶可以重复使用10次甚至更多。

钼(Mo)– 在某些使用条件比较特殊的情况下，镍铬铝合金批发价格，如需要进行高温帖合的条件下，无氧化铜容易被氧化和发生翘曲， 所以会使用金属钼为背靶材料或某些靶材如陶瓷甚至某些金属靶材的热膨胀系数无法与无氧铜匹配，同样也需要使用金属钼作为背靶材料。

不锈钢管(SST)– 目前****常使用不锈钢管作为旋转靶材的背管，因为不锈钢管具有良好的强度和导热性而且非常经济

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磁控溅射原理：在被溅射的靶****(阴****)与阳****之间加一个正交磁场和电场，在高真空室中充入所需要的惰性气体，磁铁在靶材料表面形成250～350高斯的磁场，同高压电场组成正交电磁场。 磁控溅射一般分为二种：支流溅射和射频溅射，其中支流溅射设备原理简单，镍铬铝合金多少钱，在溅射金属时，其速率也快。

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铝靶材的生产方法：1、铝的生产和提纯[2] ：铝是从铝土矿中提取Al2O3，再在熔融冰晶石中电解而得到的，纯度一般在99%以上，但这样纯度的铝根本无法作为生产铝靶材的原材料，铝靶材对铝材的*个要求也是****重要的要求就是纯度要高，铝靶材所用的高纯铝是再经过偏析法、三层电解法或联合区域熔炼法生产而成的，价格要比工业纯铝99.7贵很多，目前国内高纯度在99.9999%（6N）左右。2、铝靶材的变形处理：有了高纯度铝锭作为原材料，对原材料进行锻造、轧制、热处理等，使铝锭内晶粒变细小、致密度增加以满足溅射所需铝靶材的要求。3、对变形处理后的高纯度铝材料进行机械加工，铝靶材加工要求精度高、表面质量高，加工成真空镀膜机所需的靶材尺寸就可以了，铝靶材与镀膜机多以螺纹相连接。

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