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真空泵按性能的分类

①低真空泵:此真空泵的****限压强高于1.33Pa的真空泵属于低真空泵。常见的有往复式真空泵、旋转式真空泵、水环式真空泵、喷射式真空泵以及吸附式真空泵。

②中真空泵:****限压强在10-2~1.33pa之间的真空泵属于中真空泵。常见的有罗茨真空泵、多级喷射式真空泵等。

③高真空泵:****限压强在10-6~10-2pa的真空泵属于高真空泵。各种扩散泵及分子泵等属于高真空泵。

④超高真空泵:****限压强低于10-6Pa的真空泵属于超高真空泵。超高真空泵主要有离子泵、低温泵等。

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正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，莱宝真空泵，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三****型溅射离子泵，（或二****型非对称阴****溅射离子泵）对ya有一定的抽*宝真空泵价格，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。