磁控溅射制造、诺思真空(在线咨询)、百色磁控溅射

(1)熟练掌握“真空镀膜机安全操作规程”。

(2)开机前先检查水、电、气是否正常。(冷却水压力一般可在0.2MPa以上，气在0.4Mpa以上，电压在370-390V)。

(3)开机步骤：气动机械泵，磁控溅射厂家，约30s后开前级阀，开复合真空计，待前级抽至10Pa以下且稳定时再开启扩散泵(必须到后面查看以下电炉丝是否发红)。

(4)关机步骤：关电离计，关闭高阀，切断加热器电源，用前级泵抽前级自然降至室温，关前级管道阀，百色磁控溅射，停止机械泵，停冷却水、停电、停气。

真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。

正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，磁控溅射制造，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三****型溅射离子泵，磁控溅射设备，（或二****型非对称阴****溅射离子泵）对*有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。