诺思【好品质】(图)|真空炉|真空

蒸发镀膜过程中，从膜材表面蒸发的粒子以一定的速度在空间沿直线运动，直到与其他粒子碰撞为止。在真空室内，当气相中的粒子浓度和残余气体的压力足够低时，这些粒子从蒸发源到基片之间可以保持直线飞行，否则，就会产生碰撞而改变运动方向。为此，增加残余气体的平均自由程，真空，以减少其与蒸发粒子的碰撞几率，把真空室内抽成高真空是必要的。

管内镀膜，超高真空，尤其是小径长管内的镀膜一直是工业和科技界需要解决而未能完全解决的问题。在金属管防腐蚀、金属或玻璃管防气体渗漏等领域，急需可靠的镀膜技术。例如发电用的高温太阳能集热管中，其不锈钢内管需要防氢气渗漏层，而将防渗漏层镀制在其内表面的效果远好于镀制在其外表面的效果。同样是高温集热管，其玻璃外管需要阳光增透层用以****阳光利用率，而且需要将透明增透层制备在其内表面，微光夜视真空系统，采用溶胶凝胶方法制备增透膜不仅成本高，而且膜层不牢固。针对所述的问题，本发明提出一种管内磁控溅射镀膜设备和镀膜技术。