奥林巴斯OLS4500 纳米检测显微镜

OLYMPUS LEXT  OLS4500 纳米检测显微镜

品牌：奥林巴斯

型号：OLS4500

■产品介绍

OLYMPUS LEXT OLS4500是结合了传统光学显微镜、激光扫描显微镜（LSM）以及探针扫描显微镜（SPM）功能的一体机。LEXT OLS4500可以满足不同样品的观测需求，是一台新时代的观察、测量装置。

LEXT OLS4500可以轻松实现从毫米到纳米的观察和测量，放大倍率由几十倍到高达百万倍。找到观测目标（观察对象）后，您可以在光学显微镜模式、激光显微镜模式和探针显微镜模式之间自由切换，而不用担心目标丢失。并且您可以使用探针显微镜迅速而正确的完成观察，大大缩短了获取影像的时间。这些便是OLS4500一体机的自由操作带给您的益处。更加方便、更加顺利地完成超大范围观察和测量。实现了自由切换操作的LEXT OLS4500。

光学显微镜是从样品上方照射可见光（波长约400 nm到800 nm）， 利用其反射光成像， 能够放大样品数十倍到一千倍左右进行观察。光学显微镜的特长是可以真实观察彩色样品， 还可以切换观察方法， 强调样品表面的凹凸， 利用物质的特性（偏光性）进行观察。OLS4500上可以使用：明视场观察，微分干涉观察，简易偏振光观察。

LEXT OLS4500采用405 nm的短波长半导体激光、高数值孔径的*物镜、以及*的共焦光学系统，可以达到0.12 μm的平面分辨率。此外，OLS4500配有奥林巴斯****的扫描加扫描型2D扫描仪，可以实现高达4096×4096像素的*XY扫描。

OLS4500上采用了光杠杆法——通过高灵敏度检测出****前端装有探针的微悬臂的微小弯曲量（位移）来进行观测的方法。在悬臂的背面反射激光，并用压电元件驱动Z轴，使激光照射到光电检测器的指*置，从而正确读取Z方向的微小位移。OLS4500配有：接触模式，动态模式，相位模式，电流模式，表面电位模式（KFM），磁力模式（MFM）。

■应用

LEXT OLS4500可用来测量表面物理形貌，进行微纳米尺度的三维形貌分析，如3D 表面形貌、

2D 的纵深形貌、轮廓（纵深、宽度、曲率、角度）、表面粗糙度等。

� 精密部件：检测对表面磨损，表面粗糙度，表面微结构有要求的零部件；

� 生命科学

� 微电子机械系统：微型器件的检测，医药工程中*结构的检测，如*芯片等

� 半导体：检测微型电子系统，封装及辅助产品结构设计

� 太阳能：太阳能电池片栅线的3D 形貌表征、高宽比测量，制绒后3D 形貌表征（单

晶金字塔大小、数量、角度，多晶腐蚀坑形貌、密度），粗糙度分析等

� 纸张：纸张、钱币表面三维形貌测量

� LED行业

■技术参数

LSM部分

光源：白光LED，405nm半导体激光

检出系统：光电倍增管

分辨率：移动分辨率10nm，显示分辨率1nm

物镜转换器：6孔电动物镜转换器

物镜：100x，50x，20x等（可选）

变焦：光学变焦：1～8X，数码变焦：1～8X

SPM部分

光源：659nm半导体激光

检出设备：光电检测器

****大扫描范围：X/Y 方向，30μm x 30μm， Z 方向：4.6μm，

微悬臂规格：根据用途不同微悬臂有不同型号、类型

工作电源：100-240V, 50-60Hz, 

总重量：约440KG

设备咨询联系人:

Ronnie Chen  +86-21-13651969369    +86-21-61533166  ronniechen@nanofocus*.cn