气浮平移台产品

气浮气浮平移台系列是经过我们长期不懈努力推出的，精度高、刚度特别强，已获*专利。国内外****水平

气浮平移台实现了设计定型，可以快速订制，行程250mm（12寸）XY台正在备现货。

我公司的气浮平移台产品，一般采用直线电机、光栅尺配合气浮导轨的方法，分辨率好于200nm，精度等同于光栅精度。
也可提供双频激光反馈控制，稳定精度可达20nm，有成功案例。
采取隔尘措施后，可应用于*生产场合。
可提供超长行程单轴工作台。
也可采用音圈电机、*丝杠配合我们****的5自由度气浮联轴器，驱动工作台。
平移台可以安装气浮主轴和气浮转台。