科仪*真空公司_燕郊真空箱式氦检漏系统

真空箱式氦检漏系统[机械系统部分]

科仪*-以*为理念。使产品与技术达到国内****水平，形成了具有自主知识产权的较完整的真空产品产业链。产品和技术广泛应用于新能源、新材料、电子、电力、航空航天、半导体、超导、离子、IC装备、科研、节能环保等领域。科仪*-以技术为保障。公司汇聚了国内真空行业的*、****技术人员和****的管理团队，他们熟悉真空、机械、高温、低温、镀膜、材料、检漏和自动化控制等****，也深知现代高新技术企业的内涵，为客户提供完善的技术保障。

机械系统主要由以下四个单元构成：真空箱单元、充氦气回收单元、检漏单元、清氦单元。

1.1真空箱单元

真空箱单元由真空箱、真空泵组、真空测量装置、真空阀、执行装置及不锈钢管道等组成。

真空箱：采用不锈钢材质制造，其内表面在加工后经抛光和清洗处理，真空箱式氦检漏系统报价，保证了良好的本底和****少的藏气，****了真空箱的抽空效率。

1.2 充氦气回收单元

充氦气回收部分主要包括储气(高压)罐、回收(低压)罐、压缩机、真空泵、电磁阀、真空阀、压力传感器、真空计和管道等组成。能在设定的时间内对工件进行抽空、充氦气和氦气回收等处理。

1.3 检漏单元

真空箱式氦检漏系统机械系统部分的氦检漏单元，氦质谱检漏仪采用进口产品，自动校准漏孔。技术成熟，性能稳定，安装维护方便，使其和真空箱连接更加协调紧密。

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真空箱式氦检漏设备 充气柜氦检漏设备 环网柜检漏设备

系统严格按照客户的要求设计制造，采用模块化的设计，充分考虑客户的检漏要求，同时也尽可能采用标准化的模块和部件，保证了系统的可靠性和可维护性。真空箱式氦检漏设备适用对空腔电力工件进行氦质谱检漏SF6充注，首先对工件充注一定压强的干燥压缩空气或氮气，保压判大漏。大漏合格后，对工件和真空箱抽真空，被检工件充注氦气，应用真空箱法进行氦质谱气密性检测；然后将被检工件内的氦气回收循环使用、充注SF6。全电脑控制，全自动检测，排除操作者人为因素导致的误判。自动判断，声光提示。

本设备严格按照“用户技术要求”设计制造。

本设备适用对空腔电力工件进行氦质谱检漏、SF6及氮气充注，首先对工件进行真空内外压强抽空，真空法判大漏。大漏合格后，对工件和真空箱抽真空，被检工件充注氦气，应用真空箱法进行氦质谱气密性微检漏检测；然后将被检工件内的氦气回收循环使用、充注SF6及氮气工作气体。通过本装置判断出被检工件中的合格与不合格产品。

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主要技术参数及要求：

1、 真空箱尺寸：长00mm×宽00mm×高00 mm

充氦气压力：0.05Mpa（可调）

2、 工作节拍：＜40分钟/件

3、 箱内接口数量：大件1个工件接口。小件2个工作接口。

4、 氦气回收率：95%-98%

5、 可检漏率：≤2.8×10-6Pa m3/S

(报警漏率设置1×10-7Pam3/S时，燕郊真空箱式氦检漏系统，应可检出)

6、 保压检测时间：（1-600S可调）

7、 工件真空≤1000Pa

8、真空箱检漏真空≤20 Pa

9、系统自身漏率：≤10-9 Pa m3/s

10、箱门开关方式：自动

真空箱体加送料车。料车尺寸高度需甲方确认。

18、具有自动清氦功能。

19、具有自动控制各部分的运行状态功能，异常诊断报警，并停止设备运行的功

能。

20、工控管理系统，可完成下列参数的设置并实时打印。

21、有自动、手动两种操作模式。

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真空箱式氦检漏系统【安装调试】

北京科仪*真空技术有限公司（简称：科仪*）出资成立，创建于2015年，真空箱式氦检漏系统多少钱，注册资金500万。是国内新兴的一家****从事真空领域的高新技术企业。公司始终坚持以人为本，追求****，造就了团结，合作，*的学习型团队，真空箱式氦检漏系统哪家好，构建了高起点、高标准的技术平台，成为集真空设备研发、生产、销售、服务为一体的现代化科技型企业。科仪*产品主要有：薄膜制备设备，真空冶金设备，检漏设备，真空系统等非标真空产品。

（安装调试）

1、供方负责设备到货后在用户特定地点的安装调试，需方负责设备相关辅助设施，水、电、气等的配套工作，为供方设备顺利安装调试提供必要的协助。

2、设备到货后，供方在7天内安装完成，并由用户进行水、电、气等的配套安装，供方再对设备进行调试。

3、为使用户能充分地做好工厂设计、设备安装前的技术准备和条件准备，供方将在合同签定后的10个工作日内向需方提供设备外形尺寸、设备电功率、供电位置、用水（气）压力、用水（气）量、管径等。

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