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磁控溅射的工作分类:

当前采用磁控溅射法主要是用于制作金属不导电膜,多采用圆柱靶。方法又分为连续镀和间歇镀两种。相对来讲连续式磁控溅射生产线在技术上和实际操作可控性方面已经相当成熟,工具镀膜厂家,按照工艺做出来的产品也是相当的****,工具镀膜,但机器造价偏高所以市面上投入使用的厂家较少。只有具备充足的资金和业务资源的厂家才会采用这种工艺。

产品相关:真空镀膜机,真空镀膜设备。间歇式磁控溅射法:在技术上本身就存在较多的客观的缺陷,又是现目前为止全球性的难题。因此这种工艺还只是停留在1200MM以下的小型设备和高附加值的产品上,在产能和质量方面将无法与采用其他工艺的同行进行竞争。








在选真空泵时,首先要注意真空泵在工作时产生的振动对工艺和环境是不是存在着影响,如果工艺过程受到影响,应该采取防振措施或者另选真空泵。在选择的时候需要了解待抽气体的成分,工具镀膜设备,如果需要选择性的抽气,一种泵可能不足以满足要求,工具镀膜设备哪家好,必须组合多种不同的泵互相配合工作,如果真空镀膜设备镀膜要求无油则要选用无油泵。


真空镀膜设备对于真空度的****限要求和工作压力强度要求越来越大,对真空泵的抽真空能力要求就越高,起码泵的****限抽真空度要高于真空设备工作真空度的半个数量级以上。



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