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真空箱式氦检漏系统【系统工作原理及流程】

系统工作原理及流程:

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（检漏）

检漏时先将工件吊装至箱门托架中，天津箱式氦检漏系统，到位后放好，将工件与系统连接，箱门自动/手动关闭，按下启动按钮，系统自动完成抽真空、微漏检测、回收、清氦等工作。

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真空箱式氦检漏系统【系统工作原理】

真空箱检漏工艺流程如下：①工件密封盖板安装（需方人员自行完成）→②吊运至设备小车（同上）→③工件与设备连接（同上）→④按下控制按钮（同上）→⑤设备关门自动运行（真空箱、工件抽空）→b.工件真空压强法判大漏→c.抽空工件充氦气检微漏→d.回收工件内氦气→e.真空箱、工件充气）→⑥检漏完成真空箱开门→⑦吊走工件拆卸盖板

注：①-④-⑦由需方人员自行完成。

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系统工作气路示意图如下图所示：

【氦质谱检漏仪】在真空箱式氦检漏系统中的应用

漏率值的换算

高压开关柜在工作时控制泄漏的是SF6气体，湖北箱式氦检漏系统，因此需将原来要求的泄漏率指标换算成氦气漏率。以SF6 气体0.2%的年泄漏率，在实际检漏中，箱式氦检漏系统，设定的漏率报警值通过以下步骤得出：

1. 将每年0.2％体积泄漏量的SF6的泄漏量转换成气体泄漏量：

以工件内容积300L，充SF6的压力为0.15Mpa(绝压) 计算，每年体积泄漏量0.2％对应的漏率值为：

300×10-3× 0.15×106 ×0.2％ /3600×24×365

＝2.8×10-6Pa.m3/S

2. 对于粘滞流，不同气体的漏率与气体的粘度系数成反比。所以，2.8×10-6Pa.m3/S的SF6对应的氦漏率

Q = QSF6 (ηSF6 /ηHe)

=2.8×10-6×（1.56×10-5/1.86×10-5）

=2.4×10-6Pa.m3/S

式中， Q－氦漏率（Pa.m3/S）

QSF6－试件工作时的SF6漏率（Pa.m3/S）

ηhe－氦气的粘度系数（1.86×10-5Pa. S）

ηSF6－SF6的粘度系数（1.56×10-5Pa.S）

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