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氦检漏设备（氦气回收设备）

充氦回收部分主要包括高、低压氦气罐、压缩机、真空泵、电磁阀、真空阀门、压力传感器和管道等组成。能在设定的时间内对工件进行抽空、充氦和氦回收等处理。

系统具有氦气压力监测及氦气自动补充功能，当系统检测到氦气的浓度或压力低于设定值时，则自动打开阀门补充高纯氦气。微漏检测合格后，氦质谱检漏设备哪家好，自动进入。

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充气柜检漏设备系统工作原理详解

抽真空检大漏

检漏时先将工件放在工件转运平台上，人工将工件推入真空箱，然后将工件与系统连接，按下双启动按钮，氦质谱检漏设备，箱门自动关闭，剩下的工作系统自动完成。

箱门关好后，系统打开V3 和V4，关闭V1，V5，V6， V7，对真空箱和工件抽真空，并同时监测工件内真空值和真空箱的真空值，并保证工件内压力比真空箱压力不超过0.04Mpa。当真空箱内压力为20Pa，工件内压力抽到1000Pa时保压150S，测量开关柜和真空箱内真空值的变化，如果真空箱内真空度变化不超过设定值（如100 Pa）说明工件无大漏，氦质谱检漏设备，否则说明工件有大漏，系统自动给出声光报警，人工按下确认按钮，系统结束检测，如果工件无大漏，继续抽真空检中、微漏

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【氦质谱检漏仪】在真空箱式氦检漏系统中的应用

漏率值的换算

高压开关柜在工作时控制泄漏的是SF6气体，因此需将原来要求的泄漏率指标换算成氦气漏率。以SF6 气体0.2%的年泄漏率，在实际检漏中，设定的漏率报警值通过以下步骤得出：

1. 将每年0.2％体积泄漏量的SF6的泄漏量转换成气体泄漏量：

以工件内容积300L，充SF6的压力为0.15Mpa(绝压) 计算，每年体积泄漏量0.2％对应的漏率值为：

300×10-3× 0.15×106 ×0.2％ /3600×24×365

＝2.8×10-6Pa.m3/S

2. 对于粘滞流，不同气体的漏率与气体的粘度系数成反比。所以，2.8×10-6Pa.m3/S的SF6对应的氦漏率

Q = QSF6 (ηSF6 /ηHe)

=2.8×10-6×（1.56×10-5/1.86×10-5）

=2.4×10-6Pa.m3/S

式中， Q－氦漏率（Pa.m3/S）

QSF6－试件工作时的SF6漏率（Pa.m3/S）

ηhe－氦气的粘度系数（1.86×10-5Pa. S）

ηSF6－SF6的粘度系数（1.56×10-5Pa.S）

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