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清净性。摩擦副不可避免地要与周围介质接触，爱发科真空泵油订购，引起腐蚀、锈蚀而*。表现优良的真空泵油要求尽可能把摩擦面积垢清洗排除；*腐蚀防锈并保护摩擦面不受油变质或外来侵蚀。

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Ulvac爱发科真空泵油：Ulvac R 2 / Ulvac R 4 / Ulvac R 7

耐腐蚀性、耐化学性：示例：很多真空镀膜过程需要化学性质活泼的过程气体。 因此，有必要考虑所使用的液体是否会影响到部件或密封 件。尤其是薄壁部件，如金属波纹管，容易受到腐蚀。如 有必要，应该在测试中确定其使用寿命。

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合适的粘度良好的粘温特性真空系统利用泵腔内容积不断变化而形成排气作用，要求润滑油应具有合适的粘度和良好的粘温特性。

良好的热氧化安定性真空泵不断向高速度发展，爱发科真空泵油，由于滑片和泵体的高速摩擦使油温升高，因此使油的热和氧化作用加剧。而扩散泵往往处于很高的环境温度下工作，使系统内蒸气压升高，真空度降低，因此要求真空泵油有良好的热氧化安定性。