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激光微调采用中、小功率激光器除去电子元器件上的部分材料,激光镭射加工,以达到改变电参数(如电阻值、电容量和谐振频率等)的目的。激光微调精度高、速度快,适于大规模生产。利用类似原理可以*有缺陷的集成电路的掩模,修补集成电路存储器以****成品率,塑胶激光镭射加工,还可以对陀螺进行的动平衡调节。

激光加工的应用范围还在不断扩大,如用激光制造大规模集成电路,不用*蚀剂,工序简单,并能进行0.5微米以下图案的*蚀刻加工,从而大大增加集成度。此外,激光蒸发、激光区域熔化和激光沉积等新工艺也在发展中。2.2 加工质量


加工方向(部分)上的尺寸误差有差别板材上部的尺寸精度与尺寸精度有不同的情况。这个现象要考虑两方面的原因。首先,光束圆度和强度分布不均一,造成切口宽度沿加工方向有所不同。解决的方法是进行光轴调整或清洗光学部件。其次,五金激光镭射加工,被加工物受热膨胀会引起加工形状长方向尺寸变短的情况。翘曲引起的变化尺寸精度虽然在要求范围内,但由于热变形等原因会造成发生翘曲。加工铝、铜、不锈钢等时非常显著,键盘激光镭射加工,它受到线膨胀系数、热容量等物性的影响。就加工形状来说,纵横比越大,翘曲量就越大。采用低热量加工条件以及加工线路等在加工程序上下工夫,但还没有完全解决问题。
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