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广州市尤特新材料有限公司是一家扎根于电子信息材料行业的高新技术企业,广州靶材,以生产信息存储记录材料为起点,顺延产业技术发展的方向,深耕产业技术应用的潜力,经过11年的开拓已发展成为拥有电子浆料(*镀膜技术)、金属薄膜靶材(真空镀膜靶材技术)信息存储记录材料(激光读写光盘生产技术)、工程塑料(PC再生造粒及改性技术)、触控显示材料(手机、平板触摸屏材料)、石墨烯材料(导电、散热)、UV化工材料(UV油墨、UV电子胶粘剂)这七大核心技术为中心的产业集团。

靶材的主要性能要求

纯度

纯度是靶材的主要性能指标之一,因为靶材的纯度对薄膜的性能影响很大。不过在实际应用中,对靶材的纯度要求也不尽相同。例如,随着微电子行业的迅速发展,硅片尺寸由6”, 8“发展到12”, 而布线宽度由0.5um减小到0.25um,0.18um甚至0.13um,以前99.995%的靶材纯度可以满足0.35umIC的工艺要求,而制备0.18um线条对靶材纯度则要求99.999%甚至99.9999%。

杂质含量

靶材固体中的杂质和气孔中的氧气和水气是沉积薄膜的主要污染源。不同用途的靶材对不同杂质含量的要求也不同。例如,广州靶材采购,半导体工业用的纯铝及铝合金靶材,对碱金属含量和*性元素含量都有特殊要求。

密度

为了减少靶材固体中的气孔,****溅射薄膜的性能,通常要求靶材具有较高的密度。靶材的密度不仅影响溅射速率,广州靶材厂家生产,还影响着薄膜的电学和光学性能。靶材密度越高,薄膜的性能越好。此外,****靶材的密度和强度使靶材能更好地承受溅射过程中的热应力。密度也是靶材的关键性能指标之一。

晶粒尺寸及晶粒尺寸分布

通常靶材为多晶结构,晶粒大小可由微米到毫米量级。对于同一种靶材,晶粒细小的靶的溅射速率比晶粒粗大的靶的溅射速率快;而晶粒尺寸相差较小(分布均匀)的靶溅射沉积的薄膜的厚度分布更均匀。


广州市尤特新材料有限公司是一家扎根于电子信息材料行业的高新技术企业,以生产信息存储记录材料为起点,顺延产业技术发展的方向,深耕产业技术应用的潜力,经过11年的开拓已发展成为拥有电子浆料(*镀膜技术)、金属薄膜靶材(真空镀膜靶材技术)信息存储记录材料(激光读写光盘生产技术)、工程塑料(PC再生造粒及改性技术)、触控显示材料(手机、平板触摸屏材料)、石墨烯材料(导电、散热)、UV化工材料(UV油墨、UV电子胶粘剂)这七大核心技术为中心的产业集团。

镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。简单说的话,靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料,用于高能激光武1器中,不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时,会产生不同的杀伤*效应。例如:蒸发磁控溅射镀膜是加热蒸发镀膜、铝膜等。更换不同的靶材(如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等),即可得到不同的膜系(如超硬、*、防腐的合金膜等)。


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