光刻机|晋宇达(****商家)|绍兴步进光刻机价格
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- 名称张家港晋宇达电子科技有限公司 【公司网站】
- 所在地中国
- 联系人 丁桃宝
- 价格 面议 点此议价
- 采购量 1
- 发布日期 2017-04-06 08:37 至 长期有效
光刻机|晋宇达(****商家)|绍兴步进光刻机价格产品详情
光刻机的匹配使用是指同一产品不同的工艺图层可以分别在不同型号或同一型号不同系列的光刻机上进行光刻,而不影响光刻工艺的质量。这包括了场镜误差(I*aheld Error)的匹配,隔栅误差(Grid Error)的匹配,线宽控制的匹配以及其它使用方面的匹配等,以下将分别论述如何对这些误差进行匹配和调整。
晋宇达电子是一家专门从事提供集成电路生产线关键设备 光刻机的销售、安装、翻新、改造、再制造、备件耗材及技术咨询成套解决方案的高新技术企业。
光刻注意事项给出如下:
*
*是通过具有所要图形的模版,将图形传递到胶模上。光源一般采用*灯或*氙灯,所发光波长为紫外。对于正胶来说,*使得透光区的大分子链被*,显影的时候这部分被去除;而对于负胶来说,*使得透光区的小分子发生交连,显影时这部分被保留。所以正、负胶对于同一块模版来说,所刻出的图形是互补的。
晋宇达电子是一家专门从事提供集成电路生产线关键设备 光刻机的销售、安装、翻新、改造、再制造、备件耗材及技术咨询成套解决方案的高新技术企业。
一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准*、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序。Photolithography(光刻) 意思是用光来制作一个图形(工艺);在硅片表面匀胶,然后将掩模版上的图形转移光刻胶上的过程将器件或电路结构临时“*”到硅片上的过程。