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压强范围

真空泵种类 工作压强范围（Pa） 起动压强（Pa）

活塞式真空泵 1×105～1.3×102 1×105

旋片式真空泵 1×105—6.7×10-1 1×105

水环式真空泵 1×105—2.7×103 1×105

罗茨真空泵 1.3×103—1.3 1.3×103

涡轮分子泵1.3—1.3×10-5 1.3

水蒸气喷射泵 1×105—1.3×10 -1 1×105

油扩散泵 1.3×10-2—1.3×10 -7 1.3×10

油蒸气喷射泵 1.3×10—1.3×10 -2 <1.3×105

分子筛吸附泵 1×105—1.3×10 -1 1×105

溅射离子泵 1.3×10-3—1.3×10 -9 6.7×10-1

钛升华泵 1.3×10-2—1.3×10 -9 1.3×10-2

锆铝吸气剂泵 1.3×10—1.3×10 -11 1.3×10

低温泵 1.3—1.3×10-11 1.3—1.3×10-1

（一）真空泵的修正

为避免真空泵运用过程中出现疑问，介绍一下真空泵是如何修正的： 真空泵腐蚀的形状可分为悉数（均匀）腐蚀和部分腐蚀两大类，前者较均匀的发生在真空泵悉数外表，后者仅仅发生在部分，如孔蚀、缝隙腐蚀、晶间腐蚀、应力腐蚀等。选用高分子复合材料对真空泵施行外表有机涂层防腐是当前卓有成效的防腐蚀办法之一，其具有杰出的耐化学功能及优良的力学功能和粘接功能，与传统的压力容器焊接修补比较，具有施工简洁、成本低、安全功能，修正作用好的特色。

（二）真空泵的结垢与扫除

 真空泵在运用过程中，会因为技术用水、 钙镁硬度、PH值、电导率、总碱度、温度等要素发生结垢表象，然后构成如下损害： 　

　 1. **的耗费和污染负荷； 　

　 2. 构成出产事端，削减设备寿数； 　

　 3. *非方案停机次数，构成出产连续，影响设备的出产功率。停机清洁，增加修理费用和额定的劳作负荷； 　　

    4. *能耗丢失。传统修正办法有停机化学清洁、停机高压水清洁、增加阻垢剂、人工机械清洁、停机拆开替换等办法，但较为费时吃力，且修正作用并不抱负。对于上述疑问，国外****的保护办法多运用电子除垢仪处理。相对传统修理办法，德科乐电子除垢仪在操作约束、避免管垢构成、防锈*****等方面更为超卓，一起费用开销更少，不污染环境和水质，在真空泵的保护保护方面有了越来越多的运用。

真空的定义

真空系统指低于该地区大气压的稀簿气体状态

真空度

处于真空状态下的气体稀簿程度，通常用“真空度高”和“真空度低”来表示。真空度高表示真空度“好”的意思，真空度低表示真空度“差”的意思。

真空度单位

通常用托（Torr）为单位，国际上取用帕（Pa）作为单位。

1托=1/760大气压=1毫米*柱

托与帕的转换

1托=133.322帕　或　1帕=7.5×10-3托

平均自由程

作无规则热运动的气体粒子，相继两次碰撞所飞越的平均距离，用符号“λ”表示。

流量

单位时间流过任意截面的气体量，符号用“Q”表示，单位为帕·升/秒（Pa·L/s）或托·升/秒（Torr·L/s）。

流导

表示真空管道通过气体的能力。单位为升/秒（L/s），在稳定状态下，管道流导等于管道流量除以管道两端压强差。符号记作“U”。 U=Q*1)

压力或压强

气体分子作用于容器壁的单位面积上的力，用“P”表示。

标准大气压

压强为每平方厘米101325达因的气压，符号：（Atm）。

****限真空

真空容器经充分抽气后，稳定在某一真空度，此真空度称为****限真空。通常真空容器须经12小时炼气，再经12小时抽真空，****后一个小时每隔10分钟测量一次，取其10次的平均值为****限真空值。

抽气速率

在一定的压强和温度下，单位时间内由泵进气口处抽走的气体称为抽气速率，简称抽速。即Sp=Q/（P－P0）

冷阱（水冷挡板）

置于真空容器和泵之间，用于吸附气体或捕集油蒸汽的装置。

气镇阀

油封机械真空泵的压缩室上开一小孔，并装上调节阀，当打开阀并调节入气量，转子转到某一位置，空气就通过此孔掺入压缩室以降低压缩比，从而使大部分蒸汽不致凝结而和掺入的气体一起被排除泵外起此作用的阀门称为气镇阀。

真空冷冻干燥

真空冷冻干燥，也称升华干燥。其原理是将材料冷冻，使其含有的水份变成冰块，然后在真空下使冰升华而达到干燥目的。

真空蒸镀

在真空环境中，将材料加热并镀到基片上称为真空蒸镀，或叫真空镀膜。

真空干燥

利用真空环境下沸点低的特点来干燥物品的方法。

真空系统常用名称

①主泵：在真空系统中，用于获得所需要真空度来满足特定工艺要求的真空泵，如真空镀膜机中的油扩散泵就是主泵。

②前级泵：用于维持某一真空泵前级压强低于其临界前级压强的真空泵。如罗茨泵前配置的旋片或滑阀泵就是前级泵。

③粗抽泵：从大气压下开始抽气，并将系统压力抽到另一真空泵开始工作的真空泵。如真空镀膜机中的滑阀泵，就是粗油泵。