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对于校准应用,杰出的步距分辨率是****为重要的。ANT130-L配合AEROTECH的驱动和控制器满足1nm步距增量的需求。直接驱动直线电机使ANT130-L具有精密的,小分辨率的步距。这在步距精度要求严格的校准应用中尤为重要。





ANT95-L系列纳米平移台1.实现大行程纳米*

2.高分辨率(1纳米),重复*精度(75纳米),*精度(250纳米)

3.1纳米的位置稳定性

4.*爬行十字交叉滚珠轴承

5.高动态特性

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小步进。


ANT130-L系列平台在160mm的行程内提供纳米级*性能。ANT130-L具有低框架和杰出性能特点,是*校准,检测,*和测量站的****终解决方案。ANT130-L系列平台在160mm的行程内提供纳米级*性能。ANT130-L具有低框架和杰出性能特点,是*校准,检测,*和测量站的****终解决方案。
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