电器真空泵|真空泵|磊博机电设备(图)

1、真空泵的作业压强应当满意真空设备的****限真空及作业压强恳求。如：真空镀膜恳求1×10-5mmHg的真空度，选用的真空泵的真空度****少要5×10-6mmHg。一般挑选泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。

2、正确地挑选真空泵的作业点。每种泵都有一定的作业压强规模，如：分散泵为10-3~10-7mmHg，在这样宽压强规模内，泵的抽速随压强而改变，其稳定的作业压强规模为5×10-4~5×10-6mmHg。因而，泵的作业点应当选在这个规模以内，而不能让它在10-8mmHg下长期作业。又如钛****泵可以在10-2mmHg下作业，但其作业压强应小于1×10-5mmHg为好。

3、真空泵在其作业压强下，应能排走真空设备技术进程中发生的悉数气体量。

4、正确地组合真空泵。因为真空泵有挑选性抽气，因而，有时选用一种泵不能满意抽气恳求，需要几种泵组合起来，彼此弥补才华满意抽气恳求。如钛****泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三****型溅射离子泵，（或二****型非对称阴****溅射离子泵）对*有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空设备得到较好的真空度。别的，有的真空泵不能在大气压下作业，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来运用。

5、真空设备对油污染的恳求。若设备严峻恳求无油时，应当选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。假设恳求不严峻，可以挑选有油泵，加上一些防油污染办法，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能抵达清洗真空恳求。

以500吨级多功能真空感应炉为例，对真空泵应提出以下几点作用要求:

   (1)使用油封式机械泵时，如果真空室和泵之间没有冷阱，则不能用机械泵直接抽真空至13Pa以下，因为在压强低于13Pa时，油燕气分子将返流到真空室造成污染;

   (2)在启动机械泵之前，要检查泵油的状态，看是否被污染，泵油的油位是否合乎要求;

   (3)罗茨泵启动之前，前级压力应在****大允许压强范围之内，若是该罗茨泵具有过载保护装置.则罗茨泵可以启动得稍早一些;

   (4)油增压泵在启动之*定要检查确定前级压力在****大允许压力范围内;

   (5)如果油增压泵接人系统以后，真空度抽不上去，则先检查泵所在的系统的翻气率是否超过允许值，同时检查泵的电炉工作是否正常、泵的冷却是否正常，若已经排除真空容器密封、阀门工作都正常，则有可能是泵本身的问题，需要和泵的生产厂家进行交流，可能存在着泵油变质、泵冷却不好、泵油不足或泵过热等问题;

   (6)在油增压泵通大气之*定要检查泵油的温度，若是温度过高，则会把泵油氧化;

   (7)真空系统不工作时.除了机械泵通大气以外，真空系统的其他部件****好在真空条件下封存;

   (8)在油增压泵开启或停止工作的时候，应该首先关闭油增压泵入口的阀门，****泵油返流到真空室当中去。