医疗净化 工程_净化工程_中正钢

净化工程洁净室的复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。    

 (1)洁净隧道：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域覆盖使洁净度等级****至10级以上，可节省安装运转费用。  此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。  洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易； B.维修设备时可在维修区轻易执行。  (2)洁净管道：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省能源，不需人工的自动化生产线为****适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。    

净化工程洁净室

并装局部洁净室(Clean Spot)：将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级****为10~1000级以上，以为生产之用；洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。    洁净工作台：等级Class 1~100级。     洁净工作棚：为在乱流式之洁净室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间，采用*之HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较*之洁净空间，其等级为10~1000级，高度在2.5米左右，覆盖面积约10m2以下，四支支柱并加装活动轮，可为弹性运用。

净化工程洁净室的分类

垂直层流式：房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖，空气由上往下吹，可得较高之洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。 优点：管理容易，运转开始短时间内即可达稳定状态，不易为作业状态或作业人员所影响。   缺点：构造费用较高，弹性运用空间困难，天花板之吊架相当占空间，维修更换过滤器较麻烦。