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张家港晋宇达电子科技有限公司

光学* 当前*的主流技术

*是芯片制造中****关键的制造工艺,由于光学*技术的不断*,它一再突破人们预期的光学*****限,使之成为当前*的主流技术。1997年美国GCA公司推出了一台分步重复投影*机,被视为*技术的一大里程碑,1991年美国SVG公司又推出了步进扫描*机,它集分步投影*机的高分辨率和扫描投影*机的大视场、****率于一身,更适合<0.25μm线条的大生产*。



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光刻机对准系统另外一个技术难题就是对准显微镜。为了增强显微镜的视场,许多****的光刻机,采用了LED照明。对准系统共有两套,具备调焦功能。主要就是由双目双视场对准显微镜主体、目镜和物镜各1对(光刻机通常会提供不同放大倍率的目镜和物镜供用户组合使用)。


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光学* 当前*的主流技术

*是芯片制造中****关键的制造工艺,由于光学*技术的不断*,它一再突破人们预期的光学*****限,使之成为当前*的主流技术。1997年美国GCA公司推出了一台分步重复投影*机,被视为*技术的一大里程碑,1991年美国SVG公司又推出了步进扫描*机,它集分步投影*机的高分辨率和扫描投影*机的大视场、****率于一身,更适合<0.25μm线条的大生产*。


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张家港晋宇达电子科技有限公司
公司认证:
  • 公司地址:中国 张家港经济技术开发区福新路2号
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  • 企业类型:
  • 主营行业:光刻机,尼康步进光刻机,半导体前道设备

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