管式炉炉膛_管式炉_热科炉业

对许多金属和金属合金一个有趣的争论就是，他们是通过物****相沉积(PVD)还是通过化学气相沉积(CVD)能得到****.好的沉积效果。尽管CVD比PVD有更好的台阶覆盖特性，但目前诸如铜的子晶层和钽氮扩散层薄膜都是通过PVD来沉积的，因为现有的大量装置都是基于PVD系统的，工程技术人员对PVD方法也有较高的熟练程度。一些人建议，既然台阶覆盖特性越来越重要(尤其是在通孔边墙覆盖)，CVD方法将成为必不可少的技术。相似的争论也存在于产生低k值介质材料方面：是使用CVD方法好还是采用旋涂工艺好？

在化学气相沉积中，决定晶圆间薄膜均匀性的重要参数之一是晶圆间的气体是如何流动的。上图所示是Novellus概念下Three ALTUS系统中，一个晶圆及其基座上的SiH4集中度和钨沉积率的典型路径图。

管内气液两相流压力降确定的复杂性：

(1)气液两相流没有直接的类似于摩擦系数与雷诺数之间的关系。

(2)气液相流速不同，存在相对运动，产生内摩擦损失而使压力降低。

(3)由于液相滞留量存在，管内实际流通截面积减小，会使压力降增加。

(4)在垂直管内，液相连续不断的上升和下降，也会消耗能量而形成压力降。

炉管内气液两相流的适宜流型：

炉管内汽液两相流的流型****.好是雾状流(不允许出现液节流)；

泡点附近允许出现环状流或分散气泡流，除此之外，其它流型均应避免；

当*点表示的流型完全不符合要求时，可以缩小炉管直径或加大注入的水蒸汽量来获得适宜的流型。

主要功能和特点：

1、炉膛采用进口氧化铝多晶纤维材料，保温性能好，*，****节能。

2、加热元件采用进口****合金丝，经久*,温度可达1200℃。

3、采用双层壳体结构，结合热感应技术，配有风冷系统，使炉体表面温度快速降温。

4、采用RK快速法兰连接，减少了加热管损坏的可能，取、放物料更加方便快捷。

5、上开式炉盖设计，可以实时观察加热的物料，并能迅速降温，满足材料骤冷骤热的实验需要；

6、智能PID*控制，自整定功能，30段可编程控制，可设置30段升降温程序,实现了功率无损耗。

7、预留真空、气路快速接口，配合我司真空、混气系统使用；满足用户在不同的真空状态及不同的气氛条件下进行实验。

8、预留485转换接口，通过我司*软件，与计算机互联，可实现单台或者多台电炉的远程控制、实时*、历史记录、输出报表等功能；

9、具有开启断电，超温报警，漏电保护等安全操作功能。