vm100吸真空泵_盛飞真空泵(****商家)_吸真空泵生产厂家

⑴真空泵应安装在地面结实坚固的场所，周围应留有充分的余地，便于检查、维护、*。

⑵真空泵底座下应保持地基水平，底座四角处建议垫减震橡皮或用螺栓浇制安装，确保真空泵运转平稳，振动小。

⑶真空泵与系统的连接管道应密封可靠，对小真空泵可采用金属管路连接密封垫采用耐油橡胶，对小真空泵可采用真空胶管连接，管道管径不得小于真空泵吸气口径，且要求管路短而少弯头。（焊接管路时应清除管道中焊渣，严禁焊渣进入真空泵腔。）

⑷在连接管路中，用户可在真空泵进气口上方安装阀门及真空计，随时可检查真空泵的****限压力。

⑸按电动机标牌规定连接电源，并接地线和安装合适规格的熔断器及热继电器。

⑹真空泵通电试运转时，须取下电机皮带，确认真空泵转向符合规定方向方可投入使用，以防真空泵反转喷油。（转向按防护罩指示方向）

⑺对于有冷却水的真空泵，按规定接通冷却水。

⑻如真空泵口安装电磁阀时，阀与真空泵应同时动作。

⑼当真空泵排出气体影响工作环境时，可在排气口装接管道引离或装接油雾过滤器。

     分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。

     由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了****抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既****了生产效率又****了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是中国真空泵制造业发展的*。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，以满足不同场合的需要。

旋片式真空泵特征：

1、体积小、重量轻、噪音低。

2、设有气镇阀，可抽除少量水蒸气。

3、****限真空度高。

4、内置强制油泵，润滑充分，性能可靠。

5、设有自动防返油止回阀，双重保险装置，启动方便 。

6、保持进气压强为≤1.33*1000Pa时，仍可连续运转。

7、不漏油，不配油，不污染工作环境。

8、可配小口径转换接口、KF接口。 2XZ-C系列真空泵是在原2XZ系列基础上借鉴和吸收国外****技术和经验改制的，采用强制进油，在进气压强≤1.33*1000Pa时；仍可连续运转的优点。用来抽除密封容器中的气体，使容器获得真空状态。也可作为各种高真空、超高真空获得设备的前级泵。