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半导体、苏州晶淼半导体(****商家)、半导体清洗

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超声清洗:

     对不同材料及孔径的MCP应采用频率、声强可调的超声波进行实验,以确定实际工艺参数。对孔径6~12μmMCP的清洗,当媒液为水和乙醇时,可采用空化阈约1/3W/cm2,声强10~20 W/cm2,频率20~120 kHz的超声波进行清洗。



     在半导体湿式清洗制程中,晶圆 (湿式) 清洗制程主要是希望藉由化学药品与清洗设备,清除来自周遭环境所附着在晶圆表面的脏污,以达到半导体组件电气特性的要求与可靠度。过去 RCA 多槽湿式清洗一直是晶圆清洗的主要技术,不过随着近年来制程与清洗设备的演进,不但在清洗制程中不断产生新的技术,也随着半导体后段封装技术的演进,清洗设备也逐渐进入封装厂的生产线中。


      半导体清洗机设备生产线用于PI COAT前清洗设备,描述了LCD生产线(以CSTN为主)上使用的PI COAT清洗设备的主要清洗艺流程及设备的主要组成部分,包括清洗、*洗、气刀、风干、IR、UV清洗干燥、CP降温、冷却干燥等。

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