数字流量控制系统_流量控制系统_弗罗迈

   FLOWMETHOD气体质量流量控制器（Mass Flow Co*oller 缩写为MFC）用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它在多个领域科研和生产中有着重要而广泛的应用。

   此低压（Dp0.2）之FL-803系列产品主要用在*da耐压1Mpa，差压范围小于10Kpa以下的非常规使用客户。并且流量在10SLPM-20SLPM-50SLPM；

   根椐您的具体工艺需求，FLOWMETHOD将为您提供****的解决方案，详情请致电深圳弗罗迈测控系统有限公司4006360780咨询。

   FLOWMETHOD气体质量流量控制器（Mass Flow Co*oller 缩写为MFC）用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它在多个领域科研和生产中有着重要而广泛的应用。

   此系列产品主要用在*da耐压1Mpa，差压范围在0.01-１Mpa的常规型客户。可用在真空，色谱，燃烧测试，焊机系列。此产品响应时快，精度高，数字模拟可选；

流量控制系统有四个主要特点：

1.流量计和流量调节装置中不包含影响调节过程快速性的大滞后效应和大惯性特性，所以系统响应快，通频带宽。

2.系统中普遍存在外扰，如负载流量的波动和泵的脉动造成的压力脉动等。

3.为增加系统的稳定程度和*外扰能力，在流量控制系统中不采用微分控制规律，多采用以积分为主的PI调节，并在保证调节精度和快速性的前提下尽可能地缩小系统的通频带宽（见PID调节器）。

4.同一管道系统的各个流量控制系统之间往往存在相互影响，因而会使整个流量控制系统的性能变坏。

为了避免这种情况，有三种解决办法：

1.把同一管道系统的几个流量控制系统作为一个整体，按多变量系统的设计原则来确定整个系统的调节规律，以保证系统的稳定性和其他控制性能；

2.采用解耦方法（见解耦控制问题）来消除相互影响；

3.使各个流量控制系统具有不同的通频带，以减小各个流量控制系统之间的相互影响。

       气体质量流量控制器和流量计工作原理流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量(无需温度和压力补偿)。将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大，放大后的流量测量电压与设定电压进行比较，再将差值信号放大后去控制调节阀，通过闭环控制来控制通过的流量，并使之与设定的流量相等。分流器决定主通道的流量。

       控制器输出的流量检测到的电压与流过通道的气体质量成正比。满量程检测输出电压为5VDC。气体质量流量控制器的检测范围（量程比为50：1），流量分辨率为0.1%满刻度。  注意: 气体质量流量控制器的“阀控”线置于“清洗”位时也可以当成气体质量流量计使用。这时，流量检测输出电压的输出值可能达到10VDC以上。需要注意的是，一旦输出电压超过5VDC，流量检测电压和实际通过的流量不成线性对应关系。清洗时，流量显示是不准确的，而且还可能出现流量*、显示减小的现象，但这些不会损坏质量流量控制器。