cvd管式炉_管式炉_热科炉业

主要功能和特点：

1、炉膛采用进口氧化铝多晶纤维材料，保温性能好，*，****节能。

2、加热元件采用进口****合金丝，经久*,温度可达1200℃。

3、采用双层壳体结构，结合热感应技术，配有风冷系统，使炉体表面温度快速降温。

4、采用RK快速法兰连接，减少了加热管损坏的可能，取、放物料更加方便快捷。

5、上开式炉盖设计，可以实时观察加热的物料，并能迅速降温，满足材料骤冷骤热的实验需要；

6、智能PID*控制，自整定功能，30段可编程控制，可设置30段升降温程序,实现了功率无损耗。

7、预留真空、气路快速接口，配合我司真空、混气系统使用；满足用户在不同的真空状态及不同的气氛条件下进行实验。

8、预留485转换接口，通过我司*软件，与计算机互联，可实现单台或者多台电炉的远程控制、实时*、历史记录、输出报表等功能；

9、具有开启断电，超温报警，漏电保护等安全操作功能。

　目前，在中国微波法PECVD系统占据市场的主流，而管式PECVD系统也占据不少份额，而岛津的板式系统只有5~6条生产线在使用。直流法PECVD系统还没有进入中国市场。

　　除了上述几种模式的PECVD系统外，美国的Applied

Material公司还开发了磁控溅射PECVD系统，该系统使用磁控溅射源轰击高纯硅靶，在氨气的气氛中反应溅射，形成SiNx分子沉积到样品表面。这种技术的优点是不使用*的*气，安全性****很多，另外沉积速率很高。

如果按照PECVD系统所使用的频率范围，又可将其分成以下几类：

　　■ 0 Hz：直流间接法——OTB公司

　　■ 40 KHz：Ce*otherm公司管式直接法PECVD和Applied Material公司的磁控溅射系统

　　■ 250 kHz：岛津公司的板式直接法系统

　　■ 440 kHz：Semco公司的板式直接法

　　■ 460 kHz：Ce*otherm公司管式直接法

　　■ 13.6 MHz：Semco公司和MVSystem公司的板式直接法系统

　　■ 2450 MHz：Roth&Rau公司的板式间接法系统。

产品优势：

这款管式炉以电阻丝（瑞典 Canthal A1）为加热元件，采用双层壳体结构和30段程序控温系统，移相触发、可控硅控制，炉膛采用氧化铝多晶纤维材料，具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等优点，是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火用的理想产品.。

软件控制系统（选购）：该炉配有通讯接口和软件，可以直接通过电脑控制炉子的各个参数，并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况，炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出，并能把每个时刻的温度数据保存起来，随时可以调出。