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洁净车间照明设计

         洁净车间一般为大柱网、大跨度、大空间、无采光窗的密闭厂房，对于在密闭洁净车间工作的操作人员来说，为他们提供明亮、*的视觉环境，可较大地****生 产效率和精细产品的成品率。因此，适当****洁净车间的人工照明照度水平，****工作人员的视觉卫生，****国民经济的发展都是有利的。不过考虑到生产车间的明暗适应，洁净车间的走道、休息室的照度与工作是的照度等级不能相差太大，一般相差1~2个等级较合适，但低不能低于100 1x。

         不同的洁净工业厂房照度按工艺要求的不同也有较大的差异，如显像管工厂的电子枪装配车间混合照明的照度要达到1000~3000 1x，除设置一般照明外，还需设置局部照明，局照明占混合照明照度的比例不能太大，一般照明照度为混合照明照度的5~15%。我国由于电力较紧张扩大了局 部照明在混合照明中的照度比例。如果空间照度低，容易产生眩光，使人感到疲劳，但光源亮度不能太高，常选用荧光灯等线状光源或带磨砂玻璃的白炽灯。

          厂房装修对洁净车间中对光源有特殊要求的车间，如：显像管厂的荧光粉涂敷间、半导体厂房中的光刻间，为了****感光材料的感光，必须使用*或红色光源的，应满足其特殊要求选用*荧光灯管或低压钠灯，*荧光灯管也有两种，一种为灯管内壁涂*荧光粉；另一种为白色荧光灯管外套*塑料套管，他们的光通量比一般荧光灯都要低。

洁净车间中的气压规定

对于大部分洁净空间，为了****外界污染*，需要保持内部的压力（静压）高于外部的压力（静压）。压力差的维持一般应符合以下原则：

1．洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。

2.洁净度级别高的空间的压力要高于相邻的洁净度级别低的空间的压力。

3.相通洁净室之间的门要开向洁净度级别高的房间。

压力差的维持依靠新风量，这个新风量要能补偿在这一压力差下从缝隙漏泄掉的风量。所以压力差的物理意义就是漏泄（或渗透）风量通过洁净室的各种缝隙时的阻力。

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洁净车间如何对湿度进行控制的

             在相对湿度较高的环境中，浓缩水形的毛细管力在颗粒和表面之间形成了连接键，可以增加颗粒与硅质表面的黏附力。相对湿度小于50%时并不重要，但当相对湿度在70%左右时，就成为颗粒之间黏附的主要力量。到目前为止，在半导体无尘车间、洁净室中很迫切需要适当控制的是光刻胶的敏*。由于光刻胶对相对湿度****为敏感的特性，它对相对湿度的控制范围的要求是很严格的水准。 　

          　实际上，相对湿度和温度对于光刻胶稳定性以及尺寸控制都是很关键的。甚至是在恒温条件下，光刻胶的粘性将随着相对湿度的上升而迅速下降。当然，改变粘性，就会改变由固定组分涂层形成的保护膜的厚度。相对湿度的3%的变异将使保护厚度改变59.2A。此外，在高的相对湿度环境下，由于水分的吸收，使烘烤循环后光刻胶膨胀加重。光刻胶附着力同样也可以受到较高的相对湿度的*影响;较低的相对湿度(约30%)使光刻胶附着更加容易，甚至不需要聚合改性剂，如六甲基二硅氮烷(HMDS)。

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