管式炉、热科炉业(在线咨询)、供应管式炉

PECVD法按沉积腔室等离子源与样品的关系上可以分成两种类型：

直接法：样品直接接触等离子体，样品或样品的支撑体就是电****的一部分。

间接法：或称离域法。待沉积的样品在等离子区域之外，等离子体不直接打到样

品表面，样品或其支撑体也不是电****的一部分。

直接法又分成两种：

（1）管式PECVD系统：即使用像扩散炉管一样的石英管作为沉积腔室，使用电阻炉作为加热体，将一个可以放置多片硅片的石墨舟插进石英管中进行沉积。这种设备的主要制造商为德国的Ce*otherm公司、中国的捷佳伟创公司、第四十八研究所、七星华创公司、青岛赛瑞达公司。

（2）板式PECVD系统：即将多片硅片放置在一个石墨或碳纤维支架上，放入一个金属的沉积腔室中，腔室中有平板型的电****，与样品支架形成一个放电回路，在腔室中的工艺气体在两个****板之间的交流电场的作用下在空间形成等离子体，分解SiH4中的Si和H，以及NH3中的N形成SiNx沉积到硅表面。这种沉积系统目前主要是日本岛津公司在进行生产。

间接法又分成两种：

（1）微波法：使用微波作为激发等离子体的频段。微波源置于样品区域之外，先将氨气离化，再轰击*气，产生SiNx分子沉积在样品表面。这种设备目前的主要制造商为德国的Roth&Rau公司。

（2）直流法：使用直流源激发等离子体，进一步离化氨气和*气。样品也不与等离子体接触。这种设备由荷兰的OTB公司生产。

管式加热炉的特征（前言）：

（1）被加热物质在管内流动，故****于加热气体和液体，而且，这些气体或液体通常都是**的烃类物质，同锅炉加热水和蒸汽相比，危险性大，操作条件要苛刻得多。

（2）加热方式为直接受火式，加热温度高，传热能力大。

（3）只烧气体或液体燃料。

（4）长周期连续运转，不间断操作，便于管理。

炉体的安装

电炉可放置在工作台上，以适合*的生理操作高度，工作台的有效承载应大于200KG。

电气安装电源配置：220V（380V）。按用户的电控柜配置功率应大于4Kw。

热电偶插入炉膛深度25mm，采用N分度号补偿导线与控温仪表联接。

注意：应先装石英管后装热电偶，热电偶不能与石英管接触。

电炉和控制柜整体接地，接地线接地电阻应小于4Ω。电阻丝接线方式：二根并联，电源：单相220V（或380V）。检查及紧固由于运输等原因，应检查炉体各螺钉的紧固情况，确认无误。