管式炉、中温管式炉、热科炉业(多图)

炉体的安装

电炉可放置在工作台上，以适合*的生理操作高度，工作台的有效承载应大于200KG。

电气安装电源配置：220V（380V）。按用户的电控柜配置功率应大于4Kw。

热电偶插入炉膛深度25mm，采用N分度号补偿导线与控温仪表联接。

注意：应先装石英管后装热电偶，热电偶不能与石英管接触。

电炉和控制柜整体接地，接地线接地电阻应小于4Ω。电阻丝接线方式：二根并联，电源：单相220V（或380V）。检查及紧固由于运输等原因，应检查炉体各螺钉的紧固情况，确认无误。

****烟气****腐蚀的措施有哪些？

答：1)采用清洁燃料；2)降低过剩空气系数；3)燃料充分燃烧；

4)****进料温度使管壁温度在****温度之上(一般****温度当燃料含硫大于2%取1500C,管内介质温度取1350C,面积足够的情况下烟气温度2200C.)；

5)****设备壳体壁温(加热炉90-1000C,FCC再生器1800C)；

6)采用耐腐蚀材料:镍基合金:C-276、C-22、ND钢,含铜和铬合金,外涂覆(氟橡胶,搪瓷,高温涂料,喷不锈钢+涂料封闭等)；

7)添加剂：中和/*生成*,如MgO, Mg(OH)2.不仅中和硫,而且中和V5O2；

8)炉壁用涂料保护；

9)炉隔热衬里采用致密材料,****烟气窜透；

沉积的均匀性与电****和腔室的设计很有关系。管式PECVD系统由于其石墨舟中间镂空，因此利用了硅片作为电****的一部分，因此辉光放电的特性就与硅片表面的特性有了一定的关系，比如硅片表面织构化所生成的金子塔****的状态就对等离子体放电产生影响，而目前硅片的电导率的不同也影响到等离子场的均匀性。另外管式PECVD的气流是从石英管一端引入，这样也会造成工艺气体分布的不均匀。

　板式PECVD系统使用了衬底板作为电****，而且采用匀气的Shower系统，但是由于衬底板在长期加热后会有稍微的翘曲，从而造成平行板电****间距的不一致，也会造成片间不均匀。另外，等离子体直接法在大面积沉积时会造成由于高频波长所带来的附加的不均匀性。